กระบวนการล้างเพื่อขจัดความปนเปื้อนอีกรูปแบบหนึ่งซึ่งเน้นหนักในโรงงานอุตสาหกรรมปิโตรเคมีและโรงกลั่น ก่อนเปิดอุปกรณ์เพื่อให้บุคลากรสามารถเข้าตรวจสอบ ซ่อมบำรุงหรือเปลี่ยนเครื่องจักรได้นั้นจำเป็นต้องมีการทำความสะอาดภายใน เพื่อทำให้เกิดสภาวะ gas-free หรือไม่มีแก๊สพิษหลงเหลืออยู่เสียก่อน กระบวนการทำงานของการขจัดความปนเปื้อน มีตั้งแต่ การล้างด้วยน้ำมัน การล้างด้วยน้ำกับสารเคมี การล้างด้วยไอน้ำ และการล้างด้วยไอน้ำกับสารเคมี
